3、部分管道（SiH、BF、20%PH。）采用雙層管，外層管抽真空并對其真空度進行監(jiān)測，閥門箱內(nèi)設(shè)泄漏探頭、緊急切斷閥和報警連鎖裝置，各重要設(shè)備和地點設(shè)有手動緊急按鈕。
    4、設(shè)置過流量關(guān)閉裝置。當特種氣體管線斷裂，氣體泄漏時，裝置啟動，關(guān)閉特種氣體氣柜。
    5、設(shè)置排氣裝置。排氣裝置保證特種氣體儲存氣瓶處于負壓環(huán)境，如出現(xiàn)氣瓶儲存區(qū)有毒（可燃）氣體外泄，能及時將泄漏氣體排到電子廢氣處理裝置。
    6、設(shè)置可燃、有毒氣體焚燒處理裝置。處理裝置將工藝設(shè)備腔體內(nèi)反應(yīng)后的氣體進行焚燒處理，確保其中可燃、有毒氣體燃燒分解成安全氣體后，再經(jīng)過潔凈廠務(wù)廢氣處理裝置處理到環(huán)保要求標準排放。發(fā)生火災(zāi)時，氣體配送閥門切斷，工藝設(shè)備中、潔凈廠房內(nèi)管路中的特種氣體吸入到電子廢氣處理裝置，在等離子狀態(tài)下將特種氣體焚燒成無毒的氣體排出。

    7、在火災(zāi)危險性較大的氣柜內(nèi)設(shè)自動噴水滅火系統(tǒng)。在NH、PH、SiH氣柜內(nèi)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)，當氣柜內(nèi)部溫度超過68℃時，自動噴水系統(tǒng)動作。
    8、對特種氣體管線、閥門設(shè)置安全防護措施。在系統(tǒng)設(shè)計上對特種氣體管線、閥門等采取了有效的防護措施，以免發(fā)生意外碰撞導(dǎo)致管線或閥門破損。管線方面，在有人員可能到達的區(qū)域?qū)μ胤N氣體管線周邊設(shè)置防護網(wǎng)、警示標志等，禁止人員觸碰；閥門方面，所有閥門均設(shè)置在箱體中，只有專業(yè)工程師才有權(quán)限開啟。